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材料样品制备仪器
产品名称:
离子减薄仪
编号:
主要特点
1、试样台为薄轴承结构
2、监视系统采用聚光光源
3、观察系统设计有了防污染系统
4、结构紧凑,体积小,有防误操作系统
5、可获得十分清洁的样品,使得从样品中提取的信息更为真实可靠。
6、适用性广泛,可制备金属、非金属、陶瓷、矿物、半导体、骨骼、牙齿等几乎所有固体材料
加速电压
0-10KV连续可调
最大束流密度
大于200μA/cm
减薄速度(铜)
30μ/h(最大)
样品对离子束的倾角
5-90°(普通台)
0-90°(精细抛光台)
真空度
5×10-3Pa(不送气)
离子束对样品的最小倾角
7°(普通试样台)
2°(抛光试样台)
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