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产品名称:
纳米操控系统
编号:
TNI LF-2000
产品介绍
TNI LF-2000是目前市面.上基于SEM电镜下使用的自动化程度最
高的纳米操作系统,也是唯一-种能够在SEM电镜 下提供可重复
定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。
产品特性
完全兼容主流电镜,不影响电镜功能
市面上最佳的运动定位性能:大行程、亚纳米分辨率
位移传感器集成自动化和可编程运动
SEM真空环境优化设计,可快速安装与拆卸
产品规格
系统概况
系统尺寸
127X127X33 mm3*
机械手数量
1-4
操作手(宏动)
驱动原理
粘滑驱动
运动范围
XY轴:10mmZ轴:5mm
最大速度
>3 mm/s
最小步长
<100 nm
驱动原理
无摩擦柔性铰链
运动范围
XYZ轴: 20 um
最大速度
>45 μm/s
操作手(微动)
开环运动分辨率
0.5 nm
闭环运动分辨率
1 nm
定位漂移率
<0.35 nm/min
软件功能**
点击-移动
鼠标在电脑屏幕上从A移动到B
自适应放大倍数
定位器移动速度根据SEM放大自动调整
操作手位置保存/加载
用户定义的"保存/加载”操作手坐标
3D虚拟显示
实时三维显示操作手的位置和运动
自动校准
操作收闭环传感器自动校准
运动轴的自动对准
所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴
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