技术参数 Ø 玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm Ø 试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯Ø 金靶尺寸:Φ58mm Ø 真空系统:直联旋片真空泵2L/S Ø 真空检测:皮氏计 Ø 真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空 Ø 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气 口和微量充气调节