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电镜耗材
 所在位置: C-电镜校正标准样品 >> MRS系列多功能标样
产品名称: MRS系列多功能标样 编号:CPMRS-3/4/6
多功能图案分析标样可用来放大倍数、识别边缘偏差和图像畸变等显微镜指标检测和校正。在75mm×25mm的载玻片上提供4种高精度的图案,方格精度为±0.1μm,圆点精度为±0.3μm.此外,本产品还提供英国国家物理实验室出具的证书。根据适用的放大倍数的不同,有三款标样供用户选择。MRS系列多功能检测标样功能应用:
1.电子显微镜——SEM的二次电子像和背散射像两种模式;基于SEM的FIB成像的放大倍数的校正。同时也可用于TEM的放大倍数的校正(直径3mm,厚度500μm)
2.扫描探针显微镜——STM、AFM等,图案花样的高度为100nm
3.光学显微镜——透射型、反射型、明暗场,提供不同的对比度和焦距。
4.成份分析——图案是在石英玻璃上制备的CrO2和Cr花样,可用于EDS、WDS、XRF、XPS和Auger等等。
5.粒径分析——尺寸不同的圆形、正方形和矩形系列花样。
产品名称
校正倍数
MRS-3系列多功能标样
10×~50,000×
MRS-4系列多功能标样
10×~200,000×
MRS-6系列多功能标样
1,500×~1,000,000×

 

 
 
 

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