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108A自动真空溅射仪
产品名称:
自动真空溅射仪
编号:
108A
108A自动真空溅射仪是目前较为先进的对样品进行预处理的仪器。主要适用于扫描电子显微(SEM)和X射线微观分析等表征工作前的镀金等贵金属处理。同时,彻底排除了真空度对成膜质量的影响,溅射电流,可“暂停”的时间控制和进气量的调节控制保证了溅射的质量。
1、108自动溅射仪提供了完全自动或手动操作两种工作模式,其中包括自动放气和进放氩气控制。
2、在自动模式中,可以通过数显工作时间或MTM-20膜厚监控仪(可选件)来实现镀膜的可重复性。
3、为了获得高质量的镀膜,镀膜仪会根据一定的成膜速率和真空室内的气压来调控工作电流值。
4、采用直流磁控管低压“超冷”溅射,使得镀膜时对试样的热影响最小。
5、电子阀结合针阀设计使得放气、充气操作简单快捷。
6、可以快速更换溅射靶材
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