抛光级和普通的碳圆片是SEM或电子探针X-射线分析和背散射电子成像的理想基底。高纯度碳基底保证了在样品元素分析中除了碳峰外不会出现任何杂质特征峰。碳的高电导率和热传导性保证了在测试中不会产生电荷积累从而影响实验结果。碳圆片经过清洗能够重复使用,对于面分布成像和精细材料样品表征,抛光级碳基底是首选。