同其他结构表征手段相比,电子显微学具有以下几个方面的优点:
一、 散射能力强: ,
二、 原子对电子的散射能量远大于X-射线的散射能力 即使是微小晶粒(纳米晶体)亦可给出足够强的衍射 动力学衍射和吸收强,只能穿透薄样品
三、 波长短: Ewald球半径大,衍射图有如一个倒易点阵平面 直观,容易发生新衍射现象 d值精度差
四、 束斑可聚焦: 会聚束衍射(纳米束衍射),可获得三维衍射信息,有利于分析点群、空间群对称性; 局域结构
五、 成像:正空间信息: 直接观察结构缺陷 直接观察原子团(结构像) 直接观察原子(原子像),包括Z衬度像
六、 衍射:倒空间信息: 选择衍射成像(衍衬像),获得明场、暗场像有利结构缺陷分析 从结构像可能推出相位信息
七、 成分分析:微区分析 X射线能谱分析(EDS) 特征电子能量损失谱(EELS) 元素分布像(Element Mapping)
八、 电子全息: 电子波全部信息(相位和振幅) 微观电场、磁场分布 微观应力场分布
九、 全部分析结果的数字化 数据数字化,便于计算机存储与处理,与信息平台接轨 电子显微学不仅是X射线晶体学的强有力补充,特别适合微晶、薄膜等显微结构分析,对于局域微结构分析、尤其是纳米结构分析具有独特的优势
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