研究员， 1975年毕业于北京工业大学机械系。1975年~1985年先后在北京工业大学显微分析中心和固体微结构与性能研究所工作，任助教，讲师，高级工程师，研究员。从事扫描电镜的分析测试和研究开发。其中1985年~1987年在德国明斯特大学物理所从事扫描电子显微学的研究，以及金锡合金互扩散的电子探针X-射线显微分析。2000年在德国乌珀塔尔大学电子工程所从事微电子和光电子器件的扫描探针热成像和声成像技术的研究。主要研究方向:扫描电子显微分析技术的发展和应用。包括环境扫描电镜（ESEM）中的动态过程，绝缘材料的荷电效应、荷电补偿及荷电应用，低真空X-射线元素分析；场发射扫描电镜（FE-SEM）中的高分辨成像及电子背散射衍射技术（EBSD）。主要涉及半导体结构、微电子/光电子器件的失效分析及可靠性研究；复合材料等功能材料的显微结构与性能相关性研究。目前承担国家自然科学基金项目及装备部国防科技重点实验室项目等，从事环境扫描电镜的研究和开发及ULSI/VLSI的微结构特征及微区应力的研究。

（摘自：北京工业大学网站）